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螺杆真空泵发展概述

发布时间:2018-09-09 10:25:20 来源:admin
真空系统已经广泛应用于镀膜、光学、化工、医疗器械、核能、航空等科学领域和工业制造领域,真空系统的好坏直接决定着所生产产品的质量、精度和可靠性,科学研究结果的准确性和成功与否。真空获得设备作为真空环境的动力源,相当于真空系统的“心脏”,直接影响着整个真空环境的稳定性、可靠性和其他性能。选择真空获得设备时需要考虑到真空获得设备的适用工况、真空系统的真空度要求以及特殊气体等诸多因素,只有选择合理的真空获得设备才能保证真空系统正常运作。众多真空获得设备中干式真空泵具有环保节能、稳定性高、泵腔内无油、结构紧凑等诸多优点,是真空获得设备中重要的一类。其中干式真空泵保证泵腔内无油或其他工作介质这一重要特点,解决了大多数真空获得设备正常工作状态下,泵腔内的润滑油脂或其他工作介质由于返流和物理扩散进入所抽容积内,致使真空室受到污染这一现象的发生,被广泛运用于半导体、化工、药品等工业制造领域。
 
1984年日本制造出第一台可运行的工业干式泵,它是爪式泵和罗茨泵结合成的多级干式泵,一定程度上保证了所抽容积清洁无油。至此以后因半导体和镀膜等行业大量需求的原因,不同种类的无油真空泵飞速发展起来,陆续出现各种干式真空泵,包括涡旋式泵、罗茨泵、螺杆真空泵等。目前为止,50%欧美半导体制造商将原有的真空机械泵换成干式真空泵。其中干式螺杆真空泵是由螺杆压缩机演变而来,具有其他干式真空泵不具备的优点,比如结构紧凑,抽气范围宽,抽速大,不产生废液,所抽系统气体洁净等,这些优势也保证了干式螺杆真空泵在干式泵中具有立足之地,如今螺杆真空泵大量应用于造纸、冶金、化工的制造行业。真空泵市场当中螺杆真空泵所占份额逐年上升,然而目前我国生产的螺杆真空泵主要面向低端市场,与高端螺杆真空泵产品仍有较大差距。
 
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